講演情報
[17p-WL2_401-8]Al2O3上部クラッドによるPt–SiO2/Siマイクロリング共振器水素センサの高感度化
〇田崎 寛朗1、佐藤 歩1、岡崎 慎司1、西島 喜明1、荒川 太郎1 (1.横国大理工)
キーワード：
ガスセンサ、光、水素
本研究では、Al2O3上部クラッドを有するSiマイクロリング共振器（MRR）型光学水素センサを検討した。シミュレーションによりAl2O3クラッドが熱伝達を向上させることを確認した一方、従来の高温焼成工程がMRR特性を劣化させる課題が明らかとなった。そこで、Pt–SiO2を事前に焼成・粉末化し、バインダーにより固定する新規膜形成プロセスを提案した。水素曝露実験により明確な発熱応答を確認した。