[18a-M_103-1~13] 8.1 プラズマ生成・診断

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[18a-M_103-10] プラズマ援用有機金属化学気相成長装置で生成した窒素プラズマの回転温度・振動温度診断における不確かさの検討

〇山下 雄也¹、高橋 言緒¹、清水 鉄司¹、山田 永¹ (1.産総研)

キーワード：

発光分光法、不確かさ、分子スペクトル

本研究は，発光分光計測にもとづくプラズマ診断における，解析起因の不確かさの定量化を目的とする．準大気圧窒素プラズマを診断対象とした．解析条件（波長域，遷移，化学種別温度，波長軸fitting）を多因子変化させて，回転温度・振動温度の診断結果および決定係数を得た．波長軸のfittingは決定係数を上昇させた．しかし，過剰適合を生じさせうることが明らかとなった．