講演情報
[18a-M_103-11]プラズマインジケータによる窒素プラズマ中の活性種挙動の検知
〇加納 匠馬1、山川 裕1、大城 盛作1、釆山 和弘1 (1.(株)サクラクレパス)
キーワード：
プラズマインジケータ、窒素プラズマ、活性種挙動
我々は、プラズマ中のラジカルやイオンにより変色するプラズマ処理の評価ツール「プラズマインジケータ」を提案している。リモート型マイクロ波窒素プラズマ中の活性種挙動を、無機系プラズマインジケータの変色により検討した。インジケータは発生炉内でイオンに起因する黒色、試料台上でラジカルに起因する黄色へ変色した。位置による変色の推移から、空間的なイオン・ラジカル存在比の変化が示唆された。当日は発光分光法やインジケータの構造解析結果を含めて報告する。