講演情報
[18a-M_103-7]中赤外レーザー励起EUV光源用プラズマのための協同的トムソン散乱計測システムの設計
〇(B)張 賢俊1、富田 健太郎1 (1.北大工)
キーワード：
協同トムソン散乱、EUV光源用プラズマ、逆制動放射
近年、EUV光源用プラズマの励起レーザーを炭酸ガスレーザー（波長10.6 μm）から2 μm帯の中赤外レーザーに置き換える試みが活発化しており、本研究ではそれに対応した電子温度・電子密度計測のための協同トムソン散乱システムの構築を進めている。特に、短波長化に伴うプラズマの高電子密度化と、それによるレーザー擾乱の影響について実験的検討を行い、プローブレーザー波長266 nm分光システムの設計を行っている。