講演情報
[18a-M_103-8]レーザーアシスト放電スズプラズマEUV光源の協同トムソン散乱計測によるプラズマパラメータの計測
〇世良 英之1,2、長野 晃尚1、富田 健太郎2 (1.ウシオ電機、2.北大院工)
キーワード：
EUV光源、協同トムソン散乱計測、ピンチプラズマ
ウシオが開発・運用するマスク検査用Snレーザーアシスト放電プラズマEUV光源に対し、装置改造なしで迷光耐性を重視した協同トムソン散乱（CTS）診断を実装した。ピンチ進行に同期して走査計測を行い、電子温度・電子密度の時空間分布を測定した。最大圧縮時、プラズマパラメータは電子温度21eV、電子密度7×10^24 m^-3に達した。さらに測定した物理量から13.5nmのEUV放射強度を算出し、放射がピンチピーク時の極めて局在した領域で支配されることを示した。