[18a-M_107-1~6] 8.3 プラズマナノテクノロジー

9:00 〜 9:15

[18a-M_107-1] h-BN成膜用アンモニアボラン含有He/Arプラズマの質量分析

〇北嶋 武¹、松井 駿延¹、中野 俊樹¹ (1.防大電気)

キーワード：

プラズマ、2次元結晶、絶縁膜

2次元エレクトロニクスの分野で積層に適した絶縁材料であるh-BNを高速合成するために、アンモニアボラン原料からのプラズマによる活性種の大量供給が必要である。今回、He/Ar混合ガスの比率をパラメータとしてプラズマ照射し、BNH₅ラジカルの供給量がHe比率80%で最大値を示すことが確認できた。結果は状態遷移を反映し、アンモニアボラン粉末の表面重合膜へのHeイオン衝撃によるバブル生成が推察される。