講演情報

[18a-M_107-4]その場DRIFTS計測によるSiナノ粒子の特徴的徐酸化過程の解明

〇(M2)久保 郁也1、田中 暁巳2、道垣内 将司1,3、神原 淳1 (1.阪大院工、2.竹内電機、3.島根産業技術センター)

キーワード:

ナノ粒子

本研究では、Siナノ粒子生成直後の真空冷却および大気復圧過程における極初期酸化挙動を、赤外用積分球を用いたin situ DRIFT測定により解析した。その結果、粒径に依存して酸化開始挙動が異なり、ナノ粒子特有の初期酸化機構の存在が示唆された。