2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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[18a-PA1-2]
パーシステントホモロジーと楕円フーリエ解析による半導体微細構造の形態解析
〇比嘉 啓勝
1
、走出 和寛
1
、伊藤 千遥
1
、新田 紀子
1
、大林 一平
2
(1.高知工大、2.岡山大)
キーワード:
パーシステントホモロジー、楕円フーリエ解析
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