講演情報

[18a-PA1-2]パーシステントホモロジーと楕円フーリエ解析による半導体微細構造の形態解析

〇比嘉 啓勝1、走出 和寛1、伊藤 千遥1、新田 紀子1、大林 一平2 (1.高知工大、2.岡山大)

キーワード:

パーシステントホモロジー、楕円フーリエ解析