[18a-PA3-1~39] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18a-PA3-28] 水素含有環境スパッタリングによるIn2O3系フレキシブル透明導電膜の比較

〇(B)石上 柊佑¹、矢崎 結也¹、松藤 由磨¹、相川 慎也¹ (1.工学院大工)

キーワード：

透明導電膜酸化物、酸化インジウム、半導体