講演情報
[18a-PB1-10]PMMAイオンゲル薄膜の作製と評価
〇蕨野 真由子1、古川 一暁1 (1.明星大理工)
キーワード：
イオンゲル
イオンゲルは電子デバイスのゲート電極材料として有用であり、PMMAは電子線リソグラフィのレジスト材料として知られる。PMMAイオンゲルを薄膜化することで、新たな機能を有するレジスト材料を開発できる可能性がある。本研究では、PMMAイオンゲル薄膜を作製・評価することを目的とした。イオンゲル原料、スピンコート回転数、紫外線照射時間を変えて、薄膜形成の可否を調べた。