講演情報
[18a-PB1-3]柱状シリコンエラストマーと液晶の複合セル構造による圧力センシング感度の評価
〇那須 若菜1、柴田 陽生1、木村 宗弘1 (1.長岡技科大)
キーワード：
液晶、分子配向、センシング
我々は過去に人の皮膚感覚を模擬した電子スキン応用を目指し、液晶材料とシリコンエラストマーを感圧層に⽤いた静電容量式の圧力センサーを提案した。しかし、液晶の物理的性質を十分に活用した高感度な定圧・温度センシングを行うための構造が未解明である。本発表では、シリコンエラストマーの柱状構造と面内パターニングを施した素子を構築し、微小圧力域の感度評価並びに温度依存性を評価したので報告する。