講演情報
[18a-PB2-16]Parylene, OTS, HMDS被覆がLAPSの特性に与える影響の比較検討
〇松本 晏奈1、逸見 悠大2、松井 弘之2、長峯 邦明2、宮本 浩一郎3、吉信 達夫3、WERNER Carl Frederik1 (1.京工繊大電、2.山形大、3.東北大電)
キーワード：
化学センサ、イオンセンサ、LAPS
本研究では、光アドレス型電位センサー（LAPS）とイオン選択性膜（ISM）の密着性向上を目的とし、中間層としてパリレン、OTS、HMDSの有用性を比較した。パリレンを導入したデバイスはカリウムイオン、ナトリウムイオンの検出において優れた感度を示し、pH交差感度の抑制により高い選択性を実現した。これはパリレンの高い密着性等に起因すると考えられ、LAPSの新たな応用展開に貢献する可能性を示唆する。