講演情報
[18a-PB3-5]EUV顕微鏡用ミラーの波面補正を目的とした自動エッチングシステムの構築
〇(B)出口 雄一朗1、柴田 涼平1、緒形 凛久1、中込 由美恵1、豊田 光紀1 (1.東京工芸大学工)
キーワード：
多層膜ミラー、シュヴァルツシルト光学系、反射波面制御
EUV多層膜ミラーの表面層をナノ単位で制御し、10 pm精度の反射波面制御を実現する自動エッチング装置を開発した。装置は洗浄槽、乾燥ユニット、エリプソメータ、協働ロボット「Nova5」等で構成される。LuaとUWSCを統合した制御システムの導入により、手動工程の課題であった作業時間の短縮と計測データの再現性向上を達成し、EUV顕微鏡用光学系への適用可能性を示した。