講演情報
[18a-PB3-9]熱ナノインプリント法によるトリアセチルセルロースフィルム表面への原子ステップパターン転写
〇(M1)村岡 もも香1、油井 大地1、金子 智2、松田 晃史1 (1.東京科学大学、2.神奈川県産技総研)
キーワード：
熱ナノインプリント、トリアセチルセルロース、原子ステップパターン転写
トリアセチルセルロース（TAC）は海洋生分解性も示すバイオマスポリマーである。本研究ではフレキシブルデバイス基板として応用も期待されるTACフィルム表面の微細形状制御を目的とした。サファイアモールドを用いた熱ナノインプリントの最適化を行い、TACフィルム表面への周期的原子ステップパターン転写と原子レベル超平坦化を達成した。また、原子ステップパターンの熱・化学安定性と構造変化についても評価した。