[18a-PB4-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-PB4-2] 硫黄プラズマを用いた反応性スパッタリングによる PET フィルム上への結晶性 SnS 薄膜の室温成膜

〇茂田井 大輝¹、鈴木 一誓¹、小俣 孝久¹ (1.東北大)

キーワード：

硫黄プラズマ、反応性スパッタリング