[18a-S2_204-1~6] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

12:30 〜 12:45奨励賞エントリー

[18a-S2_204-5] 機械学習を用いた光学干渉非接触温度測定法（OICT）による熱プラズマジェット照射熱処理中のSiCウェハのリアルタイム温度測定

〇Yu Jiawen¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先進理工)

キーワード：

機械学習、温度測定、プラズマプロセス

本講演では、光学干渉非接触温度測定法（OICT）に機械学習を導入し、熱プラズマジェットによるミリ秒熱処理中のウェハ内部温度をリアルタイムに解析する新手法を報告する。ウェハの光学厚みの変化から抽出した特徴量を用いて温度分布を逐次再構成し、従来法と同等の精度・解析速度を維持しつつ、加熱条件に対する汎用性を大幅に向上させた。本手法の測温性能およびプラズマプロセス制御への有効性について議論する。