[18a-W9_323-1~10] CS.7 6.5 表面物理・真空、7.5 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

10:00 〜 10:15

[18a-W9_323-5] 放射光X線を活用した薄膜ガスセンサ材料のその場/オペランド分析

〇豊島 遼¹、内田 建¹ (1.東大工)

キーワード：

放射光、ガスセンサ、オペランド測定

水素をはじめとする小分子ガスを検知するガスセンサは、呼気・皮膚ガスによる疾病の早期発見、ガス漏洩検知、大気環境モニタリングなど、さまざまな場面で重要性が高まっている。本研究では、実動作環境下におけるセンサ表面および内部の化学状態・構造変化を明らかにするため、その場・オペランド XAFS 測定を実施した。