[18a-W9_323-1~10] CS.7 6.5 表面物理・真空、7.5 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

10:30 〜 10:45奨励賞エントリー

[18a-W9_323-6] Siドライ酸化の酸素分圧への非線形依存：熱正孔捕獲の役割

〇岡部 優希¹、津田 泰孝²、Wen Hengyu¹、吉越 章隆²、高桑 雄二³、小川 修一¹ (1.日大生産工、2.原子力機構、3.東北大)

キーワード：

Si熱酸化、リアルタイムXPS、表面反応

Si(001)表面酸化過程をXPSでリアルタイム観察し、膜厚と酸素吸着曲線に基づいてSi表面酸化の非線形酸素圧力依存における熱正孔捕獲を検討した。Si表面酸化の非線形酸素圧力依存は活性化した空孔とPbセンターを酸化反応活性点とする酸化ループ（Loop B）によりもたらされることが分かった。活性化した空孔のみを酸化反応活性点とする酸化ループ（Loop A） とLoop Bの分岐を支配する要因は少数キャリア捕獲と熱正孔捕獲である。熱正孔捕獲は酸素圧力に線形依存するのでLoop Aは線形酸素圧力依存に近くなる。