講演情報

[18a-W9_324-7]量子センサ用単結晶ダイヤモンドの均質領域大型化

〇辻 拡和1、西林 良樹1、寺本 三記1、小林 豊1 (1.住友電気工業(株))

キーワード:

ダイヤモンド、センサ、高温高圧法

量子センサ素材として期待される高温高圧法による単結晶ダイヤモンドは、結晶面の成長方向ごとに窒素の取り込み量が異なるため、窒素濃度の異なる領域(成長セクター)が生じ、成長セクター境界の歪みによる感度低下や窒素濃度差による感度ばらつきが課題である。社会実装に向けた、素材の高感度化、量産化のためには、成長セクターが大きいことが必須である。今回、大きな成長セクターを有する素材が作製できたので報告する。