講演情報
[18a-WL1_201-7]薄膜成長における表面エネルギーの重要性再認識
Zainab Fatima1、〇大久保 勇男1,2、石井 智1,2、長田 貴弘1、相澤 俊1、森 孝雄1,2 (1.NIMS、2.筑波大)
キーワード：
表面エネルギー、エピタキシャル成長、窒化銅
表面エネルギーは薄膜成長に多大な影響を与えているはずであるが、薄膜成長において表面エネルギーが取り上げられることは稀である。我々の実施したDCマグネトロンスパッタ法によるCu3N薄膜成長で、表面エネルギーの重要性が再確認された。低表面エネルギーの(100)配向が混在しやすい状況で、薄膜成長条件を最適化し、高表面エネルギーの(111)面が配向した単相エピタキシャルCu3N薄膜の作製に成功した。