講演情報
[18a-WL2_301-7][第59回講演奨励賞受賞記念講演] テラヘルツエリプソメトリによる異方性のある表面伝導薄膜の解析
〇岡本 章宏1、永井 正也1、芦田 昌明1、藤井 高志2 (1.阪大院基礎工、2.日邦プレシジョン)
キーワード：
半導体、エリプソメトリ、テラヘルツ
本講演では、磁場変調技術を導入したTHz磁気光学エリプソメトリを用いて、GaAs薄膜を対象とした測定を行い、得られたデータの解析を実施する。解析には、薄膜の多重反射光を基板上の表面電流として扱う簡便なモデルを提案し、これを適用することで、複素反射率から光学伝導度を直接算出する。その結果、DC伝導度・ホール測定の結果と整合することを示し、本モデルの有効性および今後の応用可能性について議論する。