講演情報
[18p-M_103-3]蛍光球形微粒子を用いたシース電界分布の計測
王 天翔1、廣 大輔1、高橋 孝輔1、〇井上 雅彦1、田口 俊弘2、小田 靖久1、朴 商云1 (1.摂南大理工、2.原子力機構)
キーワード：
微粒子プラズマ、蛍光球形微粒子、シース電界分布
容量結合プラズマのシース中に少数の蛍光球形微粒子を浮遊させ，写真を撮影して浮遊高さを記録したのち．可動式の平板電極を使って浮遊状態の微粒子を回収し，SEMを用いてそれらのサイズを計測した．これを複数回繰り返すことによって，微粒子の浮遊高さと微粒子サイズの関係を求め．これからシース中での電界分布を得ることができた．この電界強度分布は粒子コードシミュレーションの結果と定性的に一致している．