セッション詳細
[18p-M_103-1~7]8.1 プラズマ生成・診断
2026年3月18日(水) 14:00 〜 15:45
M_103 (本館)
[18p-M_103-1]マイクロ波磁場励起によるプラズマ発生
〇吉田 英恵1、藤井 知1 (1.沖縄高専情報)
[18p-M_103-2]トモグラフィ発光分光計測を用いたCF4/O2容量結合プラズマの診断
〇(M1)吉井 大翔1、土居 謙太2、清田 哲司2、叶 宇晨1、何 文涛1、赤塚 洋1 (1.東京科学大、2.アルバック)
[18p-M_103-3]蛍光球形微粒子を用いたシース電界分布の計測
王 天翔1、廣 大輔1、高橋 孝輔1、〇井上 雅彦1、田口 俊弘2、小田 靖久1、朴 商云1 (1.摂南大理工、2.原子力機構)
[18p-M_103-4]二周波重畳容量結合型プラズマにおける高周波電極入射イオンのエネルギー分布計測
〇(M1)藤谷 航大1、金 度漢1、内藤 真誉1、鈴木 陽香1、久保井 宗一2、福水 裕之2、栗原 一彰2、豊田 浩孝1 (1.名大工、2.キオクシア(株))
[18p-M_103-5]高出力パルスマグネトロンスパッタリングの成膜領域における飛行時間質量分析法を用いたエネルギー分解時間発展計測
〇小林 宏輝1、上村 波音1、宮田 雅人1、中川 悠幹1、横山 英佐1,2、實方 真臣1、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.東京工芸大工、2.サレジオ高専、3.(株)アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)
[18p-M_103-6]Multi-sineインピーダンス分光法を用いた反応性プラズマによる金属材料表面改質のモニタリング
〇両角 潤樹1、江利口 浩二1、占部 継一郎1 (1.京大院工)
[18p-M_103-7]アンモニア合成のための窒素/水蒸気誘導結合プラズマに晒された鉄表面のラマン散乱分析
〇(D)喜多 恭平1、稲垣 慶修1、佐々木 浩一1 (1.北大工)
