[18p-S2_203-1~10] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

16:00 〜 16:15

[18p-S2_203-7] RF/DCスパッタNb薄膜における酸化と超伝導転移の相関

〇逸見 龍瑞¹、釘尾 健正¹、溝端 悠介¹、田畑 海登¹、浜野 翔¹、小川 瑞月¹、田中 貴久¹、田中 雅光²、多田 宗弘¹ (1.慶應大理、2.名古屋大学)

キーワード：

ニオブ、超伝導