講演情報

[18p-S4_201-1]グリオキシル酸 Cu/Ag 混合錯体溶液を原料としたフェムト秒レーザ光熱還元析出描画特性評価

〇(M1)笹原 大雅1、木部 公太郎1、増子 颯斗1、大石 知司2、溝尻 瑞枝1 (1.長岡技科大、2.芝浦工大)

キーワード:

フェムト秒レーザ、熱化学還元、銅銀合金

多光子励起を用いたフェムト秒レーザ誘起熱化学還元析出は非貴金属の直接描画を可能にするが,析出した金属により吸収過程が1光子吸収へ移行することから微細制御が困難であった.本研究では微細描画の実現を目的として,グリオキシル酸CuおよびAg混合錯体溶液からの金属析出特性を評価した.混合錯体溶液に対するフェムト秒レーザ走査により,それぞれの単一錯体では得られない微細かつ均一な線状パターンの形成に成功した.