講演情報
[18p-S4_201-11]偏光干渉計を用いたガラス表面上のレーザー生成超音波の観測
〇渡辺 竣斗1、早崎 芳夫1 (1.宇都宮大)
キーワード：
レーザー生成超音波、フェムト秒レーザー、偏光干渉計
フェムト秒レーザー加工の効率化を目指し，フェムト秒レーザー加工時に発生する超音波の周波数変化に着目した．従来のマイク計測では検知できなかった周波数スペクトル変化を捉えるため，偏光干渉計を搭載したフェムト秒レーザー加工システムを開発した．表面変位は，一般化位相シフト法を用いて計算した位相から得られた．本実験では，フェムト秒レーザーパルス数に対するフェムト秒レーザー生成超音波の周波数変化を測定した．