講演情報
[18p-S4_201-2]機上白色干渉計測によるフィードバックに基づく単結晶ダイヤモンドのレーザ研磨加工
〇手嶋 勇太1、吉﨑 れいな1、張 艶明1、北村 章吾1、金 亮鎮2、日比野 謙一3、杉田 直彦1 (1.東大院工、2.釜山大院、3.産総研)
キーワード：
ダイヤモンド、機上計測、レーザ研磨
ダイヤモンドの平滑化における長時間加工や環境負荷の課題を解決するため，機上白色干渉顕微鏡とレーザ加工系を統合した超短パルスレーザによるフィードバック加工法を提案した．表面形状計測，加工戦略決定，レーザ照射を繰り返すことで，単結晶ダイヤモンドの凸部を選択的に除去し，表面粗さSaを低減できることを示した．