[18p-S4_201-1~11] 3.6 レーザープロセシング

14:30 〜 14:45奨励賞エントリー

[18p-S4_201-3] サファイアのフェムト秒レーザー直接書き込みにおける加工パラメータ依存性とリアルタイムイメージング

〇寺澤 英知^1,2、澁谷 達則^1,2、小川 博嗣^1,2 (1.産総研 レジイン実研、2.産総研 分析計測)

キーワード：

フェムト秒レーザー直接書き込み、サファイア、リアルタイムイメージング