[18p-W8E_101-1~10] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

13:45 〜 14:00

[18p-W8E_101-2] DC/AC方式Hall効果測定によるr-GeO₂中のキャリア輸送特性評価

〇清水 悠吏¹、出口 忠義²、衣斐 豊祐¹、松田 慎平¹ (1.Patentix株式会社、2.日清紡マイクロデバイス株式会社)

キーワード：

ルチル型構造二酸化ゲルマニウム、超ワイドバンドギャップ、Hall効果測定