[16p-M_178-1~8]次世代センシング・通信を拓く微細加工・MEMS技術の新展開
2026年3月16日(月) 13:30 〜 17:10
M_178 (本館)
座長：後藤 正英(NHK技研)、 岡本 有貴(産総研)、 中澤 寛一(ミライズテクノロジーズ)
高度情報化社会を支えるIoTでは、分散した多数のセンサが情報を取得して流通させることから、デバイスの高性能化・多機能化が求められている。キーテクノロジーである半導体技術の新展開について、微細加工・MEMS技術を中心に、本分野のトップランナーから話題提供いただき、今後の重要な研究開発について議論する。