講演情報

[J012-04]レーザースペックル干渉を用いた電子部品の変形計測システムの構築と樹脂封止パッケージへの適用

〇木村 悠人1、小金丸 正明1、内野 正和2、池田 徹1、田中 智行1 (1. 鹿児島大学、2. 福岡工業技術センター)

キーワード:

変形計測、スペックル干渉、電子部品