[J012] 電子情報機器，電子デバイスの強度・信頼性評価と熱制御(1)

10:00 〜 10:15

[J012-05] テスラバルブを応用したエレクトロマイグレーション損傷を抑制する薄膜配線形状

〇笹川 和彦¹、苫米地 敏克¹、三浦 鴻太郎¹、藤崎 和弘¹ (1. 弘前大学)

キーワード：

エレクトロマイグレーション、テスラバルブ、金属薄膜配線、加速通電試験、しきい電流密度、電子デバイス