AI時代の電子部品材料開発

11:35 〜 11:50優秀講演発表賞対象

[1-35A] 高品質HSQマスク法BiFe_0.9Co_0.1O₃ナノドットのドメイン構造評価 《物性》

*中山 創¹、吉川 浩太¹、Lee Koomok¹、角嶋 邦之^1,2、星井 拓也^1,2、金子 智³、安井 学³、黒内 正仁³、北條 元⁴、重松 圭^1,3、東 正樹^1,3 (1. 東京科学大学総合研究院、2. 東京科学大学工学院、3. 神奈川県立産業技術総合研究所、4. 九州大学大学院総合理工学府)

キーワード：

マルチフェロイクス、微細加工、圧電応答顕微鏡、磁気力顕微鏡