AI時代の電子部品材料開発

14:20 〜 14:35優秀講演発表賞対象

[1-40A] エアロゾルデポシション成膜の高効率化を目指した粉末設計と成膜条件の検討 《評価技術, 組織制御》

*池端 杏樹¹、Tan Wai Kian¹、感本 広文²、藤田 直幸³、河村 剛¹、松田 厚範¹、武藤 浩行¹ (1. 豊橋技術科学大学、2. 静岡理工科大学、3. 奈良工業高等専門学校)

キーワード：

エアロゾルデポジション法、有限要素法、複合粒子