講演情報
[3-24A]エアロゾルデポジション法における成膜効率の改善を目指した原料粉末の最適化設計 《評価技術, 組織制御》
*池端 杏樹1、河村 剛1、松田 厚範1、Tan Wai Kian1、藤田 直幸2、感本 広文3、武藤 浩行1 (1. 豊橋技術科学大学、2. 奈良工業高等専門学校、3. 静岡理工科大学)(※この発表者は優秀講演発表賞の対象者です。)
キーワード:
エアロゾルデポジッション法、複合粒子、有限要素法、静電吸着複合法
エアロゾルデポジッション法、複合粒子、有限要素法、静電吸着複合法