金属ガラス・ナノ結晶材料・高エントロピー合金の基礎と応用に関する新展開

15:10 〜 15:20

[1-46B] 圧粉体ターゲットを用いたスパッタ法により作製した Co-Ta2O5-Al2O3系ナノグラニュラー薄膜の磁気・電気特性 《合成, 物性, 組織制御》

*陳 育霆¹、王 誠¹、大沼 繁弘^2,1、小林 伸聖²、増本 博¹ (1. 東北大学、2. 電磁材料研究所）（※この発表者は優秀講演発表賞の対象者です。)

キーワード：

粉体、スパッタ、薄膜、磁性材料、スピントロニクス