[8P] XFEL

[8P-35] 反射型セルフシード用Geマイクロチャネルカット結晶の高圧力プラズマによる内壁ダメージ除去

*三宅 雅史¹、小田 隆司¹、松村 正太郎²、小笠原 伊織¹、大坂 泰斗³、山内 和人¹、矢橋 牧名^3,4、佐野 泰久^1,2 (1. 大阪大学、2. 株式会社エスサーフェステクノロジーズ、3. 理研/SPring-8、4. JASRI/SPring-8)

キーワード：

セルフシード、マイクロチャネルカット結晶、プラズマエッチング、結晶分光器、ゲルマニウム