[8P] イメージング

[8P-78] 全反射集光鏡光学系を用いた位相変調マルチビームX線タイコグラフィの開発

*池永 美宙^1,2,3、阿部 真樹^2,3,4、高澤 駿太郎^2,3、佐々木 雄平^1,2,3、大川 成^1,2,3、石黒 志^2,3、高橋 幸生^2,3,4,5 (1. 東北大学大学院工学研究科、2. 東北大学国際放射光イノベーションスマート研究センター、3. 理研SPring-8センター、4. 東北大学多元物質科学研究所、5. 東北大学金属材料研究所)

キーワード：

イメージング