[8P] イメージング

[8P-83] 長作動距離ミラー光学系を用いた軟X線反射型タイコグラフィの実装と評価

*永山 裕一^1,3、竹尾 陽子^1,2,3、櫻井 快^1,2,3、島村 勇徳^1,3、Jordan O'Neal^1,3、吉永 享太^1,2,3、中田 勇宇^1,3、岸本 輝²、仙波 泰徳^2,3、矢橋 牧名^2,3、大橋 治彦^2,3、木村 隆史^1,3 (1. 東京大学、2. JASRI、3. 理研)

キーワード：

軟X線、イメージング、タイコグラフィ、ウォルターミラー、反射光学系