[9P] ビームライン・測定器

[9P-19] PF AR-NE1Aにおけるsub-µm高空間分解能ラミノグラフィ測定システムの開発

*柴崎 裕樹¹、若林 大佑¹、鈴木 芳生¹、西村 龍太郎¹、亀沢 知夏²、船守 展正¹ (1. 高エネルギー加速器研究機構、2. 東北大学)

キーワード：

高空間分解能イメージング、トモグラフィ、ラミノグラフィ、高圧、PF AR-NE1A