[9P] ビームライン・測定器

[9P-22] 軟X線回転楕円ミラーの高精度加工・計測手法の開発

*海老池 豊¹、本山 央人¹、江川 悟¹、郭 建麗¹、細畠 拓也^1,2、三村 秀和^1,2 (1. 東京大学、2. 理化学研究所)

キーワード：

軟X線回転楕円ミラー、軟X線集光、精密計測、精密加工