[9P] ビームライン・測定器

[9P-26] 高空間周波数形状制御実現のための多層接合型形状可変ミラーの開発

*中村 優斗¹、井上 陽登^1,2、上山 冬馬¹、香村 芳樹³、矢橋 牧名³、松山 智至^1,2 (1. 名古屋大学大学院 工学研究科、2. 大阪大学大学院 工学研究科、3. 理化学研究所 放射光科学研究センター)

キーワード：

X線顕微鏡、形状可変ミラー、圧電素子、ニオブ酸リチウム