[8C3] ビームライン・測定器

15:00 〜 15:15

[8C3-01] 軟X線多層膜回折格子を用いた300～1100 eV域において高spectral fluxを呈する平面結像型回折格子分光器の開発

*小池 雅人^1,2,3、羽多野 忠²、アレキサンダー ピロジコフ¹、村野 孝訓^3,4、越谷 翔悟⁴、寺内 正己² (1. 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構、2. 東北大学多元物質科学研究所、3. 大阪公立大学大学院工学研究科、4. 日本電子株式会社SA事業ユニット)

キーワード：

軟X線回折格子、軟X線多層膜、軟X線分光器