[D9-23a-I] プロセスモニタリング・加工デバイス応用

11:15 〜 11:30

[D9-23a-I-03] cGANを用いた散乱光画像からのナノ周期構造のIn-situ推定~ローパスフィルタに対するモデルの性能評価~

*増田 諒太¹、早崎 芳夫¹、長谷川 智士¹ (1. 宇都宮大学オプティクス教育研究センター)

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