[D9-23a-I] プロセスモニタリング・加工デバイス応用

12:15 〜 12:30

[D9-23a-I-07] ＵＶレジンをプラズマ閉じ込め層としたレーザーピーニング

*津山 美穂¹、高木 秀一¹、張 楊¹、部谷 学²、中野 人志¹ (1. 近大理工、2. 近大工)

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