レーザー計測応用

16:00 〜 16:15

[E10-23p-VII-03] 【論文発表賞応募演題】半導体チップのレーザー振動を用いた非破壊検査および解析

*寺内 玲碧¹、三上 勝大¹、池田 研一²、中南 友佑²、大竹 政則² (1. 近大生物理工、2. オプト・システム（株）)