[D07-14p-VI] 微細加工Ⅲ

14:30 〜 14:45

[D07-14p-VI-04] 【論文発表賞応募演題】紫外Nd:YAGレーザー形成ナノドット構造のレーザフルエンス依存性

*田中 利玖¹、大歳 丈翔¹、橋田 昌樹^2,3、坂上 仁志^2,4、時田 茂樹³、竹中 啓輔⁵、佐藤 雄二⁵、塚本 雅裕⁵、草場 光博¹ (1. 大阪産業大学、2. 東海大学総合科学技術研究所、3. 京都大学化学研究所、4. 核融合科学研究所、5. 大阪大学接合科学研究所)