[P01-13p-P] D: レーザープロセシング

[P01-13p-P-11] 【優秀ポスター発表賞応募演題】フェムト秒レーザー加工を用いたFIB-TOF-SIMSの複数断面分析

*石野 司¹、坂本 哲夫¹、佐野 武志¹、大塚 秀和¹、伊藤 南海¹ (1. 工学院大学)