[P01-15p-P] D: レーザープロセシング

[P01-15p-P-15] 時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の観察

*朝田 悠太¹、森下 沙夢²、榎本 匠斗¹、村上 友祐¹、黒崎 元哉²、吉村 政志³、堀邉 英夫⁴、神村 共住^2,3 (1. 大阪工業大学、2. 大阪工業大学大学院工学研究科、3. 大阪大学レーザー科学研究所、4. 大阪公立大学大学院工学研究科)