半導体・エレクトロニクスデバイスを支える材料と成形技術

13:50 〜 14:10

[B-206] パルス紫外光を用いたフレキシブルセラミックス薄膜の光結晶成長と自由形状デバイスへの展開

*中島 智彦¹ (1. 産業技術総合研究所)

キーワード：

レーザープロセス、セラミクス薄膜、フレキシブルデバイス

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